大日本印刷 ナノインプリント用テンプレートの量産体制を強化

大日本印刷は、デジタル製品の記憶媒体である3D(3次元)構造のNAND型フラッシュメモリーの回路パターンを形成する際に使用が見込まれるナノインプリントリソグラフィ(NIL)のテンプレートの生産設備で40億円の追加設備投資を実施する。

同社、従来からNILのテンプレート供給及び開発に注力している。今回、3D構造のNAND型フラッシュメモリーの大幅な需要増加と低コスト化に対応するために、10nm台のNIL用テンプレートの生産体制を増強する。

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